Die offenen Systeme werden in "sauberer" Umgebung eingesetzt. Sie arbeiten berührungslos und zeichnen sich aus durch erhöhte Genauigkeit und hohe zulässige Verfahrgeschwindigkeit. Der Maßstab wird bei diesen Systemen direkt auf die Montagefläche befestigt. Deshalb sind an die Ebenheit der Montagefläche und Parallelität zur Maschinenführung erhöhte Forderung gestellt. Je nach Ausführung des Mess-Systems, stehen als Maßverkörperung Glas (für günstiges thermisches Verhalten teilw. ROBAX Glaskeramik) oder Stahl zur Auswahl.

Mess-Schritt	Besonderes	Baugröße	Type/Baureihe
10 µm bis 0,1 µm	große Unempfindlichkeit gegenüber Verschmutzung, hohe Auflösung,  hohe zulässige Verfahrgeschwindigkeit, 2 Schaltsignale (frei positionierbar), einfache Montage durch große Montagetoleranzen	flache Bauweise	MS 20, MS 21 MS 25, MS 26 Baureihe
5 µm bis 0,05 µm	große Unempfindlichkeit gegenüber Verschmutzung, höchste Signalqualität, hohe Auflösung, maximale Verfahrgeschwindigkeit, 2 Schaltsignale (frei positionierbar), große Montagetoleranzen	kleine Bauform	MS 30 Baureihe
10 µm bis 0,5 µm	Low Cost und High Quality einfache Montage durch große Anbautoleranzen, große Unempfindlichkeit gegenüber Verschmutzung, hohe zulässige Verfahrgeschwindigkeit, integrierte Signalunterteilung bis zu 100fach	flache Bauweise	MS 40 Baureihe
0,1 µm bis 0,01 µm	Interferentielles Längenmess-System, höchste Genauigkeit	kleine Bauform	MS 82